所有作者：张一平 朱亦鸣
作者单位：上海交通大学微电子学院
论文摘要：光罩在日常使用中会因为环境、光罩存储方式等因素产生Haze。在晶圆厂内Haze的产生是比较正常的现象，它对生产上的影响是haze 的光罩没有被及时发现仍在使用造成产品良率的损失以及光罩因haze 去送修造成产品生产周期的延迟。 本文研究目标是通过对现有光罩盒管理系统的分析来发现其中会对光罩产生haze的隐患，并对此做以优化来降低光罩产生haze 的几率。作者通过评估实验验证了新型光罩盒并建立起光罩盒重复利用的系统来降低haze的影响。
关键词： 光罩 光罩盒 Haze
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