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一种用于细胞操作的中空纳米探针的新型加工方法

论文发布时间：[2010-02-08]    范文大全    编辑：Voive.net

所有作者：张宇识 季旭 耿照新 李志宏

作者单位：北京大学微电子学研究院

论文摘要：本文给出了一种中空纳米探针的新型加工方法，利用PECVD的台阶覆盖性不好的特点，在平面上形成中空的纳米结构。这种方法成功地加工出了平面上基于SiC的纳米探针，它的外部宽为２００nm，高度小于５００nm。这种纳米探针可以被用于细胞操作系统中的药物递送和液体抽取，并且有着稳定的化学性质和较好的生物兼容性。

关键词： 微纳米加工 纳米探针 BioMEMS

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