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电容式微机械陀螺裸芯片测试技术

论文发布时间：[2010-01-15]    范文大全    编辑：Voive.net

所有作者：郭俊敏 邓中亮

作者单位：北京邮电大学

论文摘要：MEMS微机械陀螺发展日益兴盛，需求也越来越大。但当今陀螺的设计加工技术依然不是很完善，往往一批产品出来会有很多废品。如何简洁、高效地测试陀螺裸芯片，已经成为一个迫切的问题。本文分析了陀螺裸芯片的测试原理，提出了测试方案，并自行设计了测试电路，实验表明该方案有效、可行。

关键词： 微机械陀螺 裸芯片 测试

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