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化学机械研磨工艺中的减量减排

论文发布时间：[2010-05-05]    范文大全    编辑：Voive.net

所有作者：吴端毅

作者单位：上海交通大学微电子学院

论文摘要：半导体制造是一个高耗能，高排放的行业。本文通过对半导体制造工艺中化学机械研磨（chemical mechanical polish）工艺中的研磨环、氨水和纯水的使用分析，提出晶圆厂物料循环使用与减量使用能够使企业达到节能减排，降低成本的目的。

关键词： 化学机械研磨 研磨环 氨水 节能减排

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