蓝宝石头罩增透保护膜系的制备

论文发布时间：[2010-04-29] 范文大全编辑：Voive.net

所有作者：冯丽萍刘正堂

作者单位：西北工业大学材料学院, 凝固技术国家重点实验室

论文摘要：通过计算机模拟，对蓝宝石衬底上制备的增透保护薄膜的厚度均匀性进行了设计及优化。采用旋转臂雨蚀测试方法对蓝宝石验证片的抗雨蚀性能进行了测试。模拟结果显示：头罩外表面制备的SiO２薄膜其厚度不均匀性小于８。５％；雨蚀测试后，蓝宝石验证片的平均透过率损失小于１。０％。涂层通过雨蚀测试后，采用射频磁控溅射法在蓝宝石头罩上制备了SiO２薄膜。蓝宝石头罩外表面镀膜后在３~５ μm波段的平均透过率均大于９１。０％，整个头罩外表面的平均透过率不均匀性小于２。０％。蓝宝石镀膜后的透过率比较理想并可以满足器件在实际应用中的要求。

关键词：二氧化硅薄膜蓝宝石头罩射频磁控溅射

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