铈钇共掺Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜结构及介电性能

论文发布时间：[2010-02-11] 范文大全编辑：Voive.net

所有作者：廖家轩金龙郑轶贾宇明张佳傅向军姬洪

作者单位：电子科技大学电子科学技术研究院

论文摘要：用改善溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了未掺杂、铈钇单掺杂及共掺杂钛酸锶钡(Ba０。６Sr０。４TiO３， BST)薄膜，研究了薄膜的结构及介电性能。X-射线衍射表明，薄膜为立方顺电相结构，掺杂薄膜的衍射峰明显宽化。铈钇单掺或共掺均可取代ABO３钙钛矿结构的A位和B位离子，根据容差法则，先取代A位离子，再取代B位离子，晶格常数由大到小再到大变化，取决于掺杂浓度。扫描电镜和原子力显微镜表明，共掺薄膜的表面形貌比单掺薄膜进一步改善，比未掺杂薄膜大幅度改善：表面光滑、无裂纹，表面晶粒呈球状生长，平均大小为５０nm左右，平均粗糙度Ra小于３nm。共掺薄膜表面化学结构也显著改善。介电性能测试表明，共掺薄膜的综合介电性能比单掺薄膜明显提高。共掺浓度对薄膜结构、介电性能及掺杂机理的影响也进行了讨论。

关键词：铈钇共掺杂钛酸锶钡薄膜综合介电性能掺杂机制容差法则

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