所有作者：马龙 郭彤 袁方 赵健 傅星 胡小唐
作者单位：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
论文摘要：提出了一种基于carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合的白光相移干涉算法，该方法快速，准确，非接触，垂直分辨力可达亚纳米级。测量系统集成了Mirau显微干涉物镜，并通过高精度压电陶瓷纳米定位器带动物镜进行垂直扫描。首先分析了carré法应用于白光干涉信号的可行性，对不同采样步距以及不同信噪比情况下的测量进行了计算机仿真，确定了测量参数，并结合重心法确定进行相位计算的数据范围。最后，通过对微谐振器和标准台阶的测量说明了该方法的有效性。
关键词： 微机电系统 白光干涉 carré相移法 标准台阶
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