所有作者：郭彤 马龙 赵健 陈津平 傅星 胡小唐
作者单位：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
论文摘要：目前，白光干涉术已经成长为MEMS产业中的一种标准测试手段。但是，由于测试系统中物镜视场和移相器的行程限制，使其不能进行较大横向范围的测试。本文针对以上问题，使用白光倾斜扫描干涉术代替垂直扫描，以扩展其横向测量范围，提高测试效率。基于纳米测量机（NMM）搭建了测试系统，由纳米测量机代替传统的压电陶瓷带动被测物体进行倾斜扫描。首先分析了倾斜扫描的测量原理，进而针对本系统提出了倾斜扫描的实现方法，最后通过对MEMS器件上台阶结构的测试说明了本方法的有效性。
关键词： 微结构 白光干涉技术 倾斜扫描 大范围 纳米测量机
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