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溶胶-凝胶法制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3成分梯度薄膜的介电性能研究

论文发布时间:[2009-12-30]    范文大全    编辑:Voive.net

所有作者:高丽娜 翟继卫 姚熹

作者单位:同济大学功能材料研究所

论文摘要:采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba0。90Sr0。10ZrxTi1-xO3 (BSZT)(x=0~0。40)组分及其成分梯度薄膜,研究了各组分及梯度薄膜的相结构,显微结构以及在外加电场作用下的介电特性。结果表明,通过合理设计梯度薄膜的成分分布,不仅可以实现对薄膜介电常数的调控,使其保持较高的调谐率,还可获得良好的介电常数温度稳定性。与单相薄膜相比,梯度薄膜同时具有适中的介电常数,低的介电损耗,高的材料优值及良好的介电常数温度稳定性。

关键词: 材料物理与化学 梯度薄膜 溶胶-凝胶 调谐率 介电性能

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